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適用于超高真空和低溫環(huán)境的Phytron線性執(zhí)行器

發(fā)布時間:2023-11-25 點(diǎn)擊次數(shù):1489

Gr?benzell,2017年5月Phytron GmbH的新型線性執(zhí)行器研究、開發(fā)和制造過程越來越多地在真空中進(jìn)行,有時甚至在極冷的條件下進(jìn)行。為此,需要能夠在這些極端條件下精確可靠地運(yùn)行的驅(qū)動組件。

新型線性執(zhí)行器 (LA) 標(biāo)志著低至 -269°C 的低溫新時代的到來。 以前,驅(qū)動裝置通過將驅(qū)動裝置放置在腔室外并使用機(jī)械饋通來屏蔽這些極端環(huán)境。通過深入研究和新的分析和測量方法,執(zhí)行器現(xiàn)在可以在超高真空 (UHV) 或低溫環(huán)境中可靠地運(yùn)行。
在內(nèi)部,LA 蘊(yùn)藏著 30 多年開發(fā)真空和低溫步進(jìn)電機(jī)所獲得的知識?!拔覀冃麻_發(fā)的線性執(zhí)行器在極端環(huán)境條件下提供可靠性、功率和精度,并大大簡化了客戶機(jī)制,因?yàn)闊o需在低溫真空室中操作”,Phytron 技術(shù)經(jīng)理 Henning Brunke 在總結(jié)開發(fā)時解釋道。
干潤滑致動器部分由鈦制成,也可以在敏感的光學(xué)元件附近操作,而不會因脫氣而污染它們
25 毫米尺寸的第一個版本提供 13 毫米的線性行程。定位精度為 <0.01 mm,可移動 10N 的負(fù)載。與集成的行星齒輪相結(jié)合,這實(shí)際上可以增加到 30N。

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